Micro electro mechanical systems (MEMS) technology, fabrication processes and applications /
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| Autor Corporativo: | |
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| Outros Autores: | , |
| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Hauppauge, N.Y. :
Nova Science Publishers,
c2010.
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| Colecção: | Nanotechnology science and technology series.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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| Descrição Física: | xii, 391 p. : ill. (some col.). |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |