ebrary, Inc, Tabata, O., & Tsuchiya, T. (2013). Reliability of MEMS: Testing of materials and devices. Wiley-VCH.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)ebrary, Inc, Osamu Tabata, ба Toshiyuki Tsuchiya. Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices. Weinheim: Wiley-VCH, 2013.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)ebrary, Inc, et al. Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices. Wiley-VCH, 2013.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.