Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
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その他の著者: | Brand, Oliver (編集者) |
---|---|
フォーマット: | 電子媒体 eBook |
言語: | 英語 |
出版事項: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
|
シリーズ: | Advanced micro & nanosystems.
|
主題: | |
オンライン・アクセス: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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