Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
Сохранить в:
| Другие авторы: | |
|---|---|
| Формат: | Электронный ресурс eКнига |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
|
| Серии: | Advanced micro & nanosystems.
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| Объем: | 1 online resource (512 pages) : illustrations (some color), graphs. |
|---|---|
| Библиография: | Includes bibliographical references at the end of each chapters and index. |
| ISBN: | 9783527676361 (e-book) |