Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
保存先:
| その他の著者: | |
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| フォーマット: | 電子媒体 eBook |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
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| シリーズ: | Advanced micro & nanosystems.
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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| 物理的記述: | 1 online resource (512 pages) : illustrations (some color), graphs. |
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| 書誌: | Includes bibliographical references at the end of each chapters and index. |
| ISBN: | 9783527676361 (e-book) |