Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties /

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書誌詳細
第一著者: Ree, Moonhor
団体著者: ebrary, Inc
その他の著者: Yoon, Jinhwan, Heo, Kyuyoung
フォーマット: 電子媒体 eBook
言語:英語
出版事項: Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2010.
シリーズ:Nanotechnology science and technology series.
主題:
オンライン・アクセス:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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