Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties /
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第一著者: | Ree, Moonhor |
---|---|
団体著者: | ebrary, Inc |
その他の著者: | Yoon, Jinhwan, Heo, Kyuyoung |
フォーマット: | 電子媒体 eBook |
言語: | 英語 |
出版事項: |
Hauppauge, N.Y. :
Nova Science Publishers,
c2010.
|
シリーズ: | Nanotechnology science and technology series.
|
主題: | |
オンライン・アクセス: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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