Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties /
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Erakunde egilea: | |
| Beste egile batzuk: | , |
| Formatua: | Baliabide elektronikoa eBook |
| Hizkuntza: | ingelesa |
| Argitaratua: |
Hauppauge, N.Y. :
Nova Science Publishers,
c2010.
|
| Saila: | Nanotechnology science and technology series.
|
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|
| Deskribapen fisikoa: | 67 p. : ill. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references (p. [51]-61) and index. |