Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologie...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك: ebrary, Inc
مؤلفون آخرون: Landis, Stefan
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!