Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Сохранить в:
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Электронный ресурс eКнига |
| Язык: | английский |
| Опубликовано: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
|
| Редактирование: | 1st ed. |
| Серии: | Micro & nano technologies.
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|