Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
1. autor: Mack, Chris A.
Korporacja: ebrary, Inc
Format: Elektroniczne E-book
Język:angielski
Wydane: Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, c2007.
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!