Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /

Պահպանված է:

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Mack, Chris A.
Համատեղ հեղինակ:	ebrary, Inc
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:	անգլերեն
Հրապարակվել է:	Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, c2007.
Խորագրեր:	Integrated circuits > Design and construction. Microlithography > Industrial applications. Electronic books.
Առցանց հասանելիություն:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!

Եղիր առաջինը, ով թողնում է մեկնաբանություն!

Նմանատիպ նյութեր