Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Elektronický zdroj E-kniha |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Edice: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Témata: | |
| On-line přístup: | Click to View |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|