High resolution 3D nanoimprint technology template fabrication, application in Fabry-Perot-filter-based nanospectrometers /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Tese Recurso Eletrônico livro eletrônico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Kassel [Germany] :
Kassel University Press,
2011.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Click to View |
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