High resolution 3D nanoimprint technology template fabrication, application in Fabry-Perot-filter-based nanospectrometers /
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Körperschaft: | |
Format: | Abschlussarbeit Elektronisch E-Book |
Sprache: | Englisch |
Veröffentlicht: |
Kassel [Germany] :
Kassel University Press,
2011.
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Schlagworte: | |
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Beschreibung: | Summary in German. |
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Beschreibung: | iii, 160 p. : ill. (chiefly col.) |
Bibliographie: | Includes bibliographical references. |