Handbook of vacuum science and technology
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| Autor Corporativo: | |
|---|---|
| Outros Autores: | , , |
| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
San Diego, CA :
Academic Press,
c1998.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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| Descrição Física: | xxii, 835 p. : ill. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |