Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Інші автори:	Brand, Oliver (Редактор)
Формат:	Електронний ресурс eКнига
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Weinheim, Baden-Württemberg, Germany : Wiley-VCH, 2015.
Серія:	Advanced micro & nanosystems.
Предмети:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication. Resonance. Electronic books.
Онлайн доступ:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!

Інтернет