Material science and MEMS production : selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China /
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| Outros Autores: | |
|---|---|
| Formato: | Recurso Eletrônico livro eletrônico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Zurich, Switzerland :
TTP,
2014.
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| coleção: | Advanced materials research ;
Volume 901. |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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| Descrição Física: | 1 online resource (117 pages) : illustrations (some color), graphs, photographs. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references at the end of each chapters and indexes. |
| ISBN: | 9783038264286 (e-book) |
| ISSN: | 1662-8985 ; 1662-8985 |