Material science and MEMS production : selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China /
保存先:
| その他の著者: | |
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| フォーマット: | 電子媒体 eBook |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
Zurich, Switzerland :
TTP,
2014.
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| シリーズ: | Advanced materials research ;
Volume 901. |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| タグ: |
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| 物理的記述: | 1 online resource (117 pages) : illustrations (some color), graphs, photographs. |
|---|---|
| 書誌: | Includes bibliographical references at the end of each chapters and indexes. |
| ISBN: | 9783038264286 (e-book) |
| ISSN: | 1662-8985 ; 1662-8985 |