Enabling technologies for MEMS and nanodevices advanced micro and nanosystems /
Gardado en:
| Autor Corporativo: | |
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| Outros autores: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | inglés |
| Publicado: |
Weinheim [Germany] :
Wiley,
2013.
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| Subjects: | |
| Acceso en liña: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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| Descrición Física: | xii, 427 p. : ill. |
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| Bibliografía: | Includes bibliographical references and index. |