Reliability of MEMS testing of materials and devices /
Salvato in:
Ente Autore: | ebrary, Inc |
---|---|
Altri autori: | Tabata, Osamu, Tsuchiya, Toshiyuki |
Natura: | Elettronico eBook |
Lingua: | inglese |
Pubblicazione: |
Weinheim :
Wiley-VCH,
2013.
|
Serie: | Advanced micro & nanosystems.
|
Soggetti: | |
Accesso online: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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