Hermeticity testing of MEMS and microelectronic packages /

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Costello, Suzanne (Verfasst von), Desmulliez, Marc P. Y., 1963- (Verfasst von)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Boston : Artech House, [2013]
Schriftenreihe:	Artech House integrated microsystems series.
Schlagworte:	Microelectromechanical systems. Microelectronics. Microelectromechanical systems > Testing. Microelectronics > Testing. Electronic books.
Online-Zugang:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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