Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
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| 格式: | 电子 电子书 |
| 语言: | 英语 |
| 出版: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
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| 丛编: | Advanced micro & nanosystems.
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| 主题: | |
| 在线阅读: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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