Glancing angle deposition of thin films : engineering the nanoscale /

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書誌詳細
主要な著者:	Hawkeye, Matthew M. (著者), Taschuk, Michael T. (著者), Brett, Michael J. (著者)
フォーマット:	電子媒体 eBook
言語:	英語
出版事項:	Chichester, England : Wiley, 2014.
シリーズ:	Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications.
主題:	Nanotechnology. Chemical vapor deposition. Nanoelectromechanical systems > Design and construction. Electronic books.
オンライン･アクセス:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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