Material science and MEMS production : selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China /

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Liu, Changhui (HerausgeberIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Zurich, Switzerland : TTP, 2014.
Schriftenreihe:Advanced materials research ; Volume 901.
Schlagworte:
Online-Zugang:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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