ebrary, Inc, & Lindroos, V. (2010). Handbook of silicon based MEMS materials and technologies. William Andrew/Elsevier.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)ebrary, Inc, ба Veikko Lindroos. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. Amsterdam ; Boston: William Andrew/Elsevier, 2010.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)ebrary, Inc, ба Veikko Lindroos. Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. William Andrew/Elsevier, 2010.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.