Microelectromechanical systems advanced materials and fabrication methods /
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共著者: | National Research Council (U.S.). Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems, ebrary, Inc |
---|---|
フォーマット: | 電子媒体 eBook |
言語: | 英語 |
出版事項: |
Washington, DC :
National Academy Press,
1997.
|
主題: | |
オンライン・アクセス: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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