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    Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication / por Mack, Chris A.

    Publicado em 2007
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    Computational lithography por Ma, Xu, 1983-

    Publicado em 2010
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    Lithography principles, processes and materials /

    Publicado em 2011
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    Lithography main techniques /

    Publicado em 2011
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