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    Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication / 著者: Mack, Chris A.

    出版事項 2007
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    Computational lithography 著者: Ma, Xu, 1983-

    出版事項 2010
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    Lithography principles, processes and materials /

    出版事項 2011
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    Lithography main techniques /

    出版事項 2011
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