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    Microelectromechanical systems advanced materials and fabrication methods /

    出版 1997
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    Introduction to microelectromechanical microwave systems 由 Santos, Héctor J. de los

    出版 2004
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    An introduction to microelectromechanical systems engineering 由 Maluf, Nadim

    出版 2004
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    RF MEMS circuit design for wireless communications 由 Santos, Héctor J. de los

    出版 2002
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    MEMS mechanical sensors

    出版 2004
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    Analysis and design principles of MEMS devices 由 Bao, Min-Hang

    出版 2005
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    Mechatronics for safety, security and dependability in a new era

    出版 2007
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    Introduction to microfluidics 由 Tabeling, P.

    出版 2005
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    Silicon carbide micro electromechanical systems for harsh environments

    出版 2006
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    Smart mems and sensor systems 由 Gaura, Elena

    出版 2006
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    Microdevices in biology and medicine

    出版 2009
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    Fundamentals and applications of microfluidics 由 Nguyen, Nam-Trung, 1970-

    出版 2006
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    Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

    出版 2010
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    Lab-on-a-chip techniques, circuits, and biomedical applications / 由 Ghallab, Yehya H.

    出版 2010
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    Introduction to microfabrication 由 Franssila, Sami

    出版 2010
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    MEMS-based integrated navigation 由 Aggarwal, Priyanka

    出版 2010
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    Digital holography for MEMS and microsystem metrology

    出版 2011
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    Trends in nano- and micro-cavities

    出版 2011
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    Handbook of wafer bonding

    出版 2012
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    Cost-driven design of smart microsystems 由 Niedermayer, Michael, 1971-

    出版 2012
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