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    Microelectromechanical systems advanced materials and fabrication methods /

    Publié 1997
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    Introduction to microelectromechanical microwave systems par Santos, Héctor J. de los

    Publié 2004
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    An introduction to microelectromechanical systems engineering par Maluf, Nadim

    Publié 2004
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    RF MEMS circuit design for wireless communications par Santos, Héctor J. de los

    Publié 2002
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    MEMS mechanical sensors

    Publié 2004
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    Analysis and design principles of MEMS devices par Bao, Min-Hang

    Publié 2005
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    Mechatronics for safety, security and dependability in a new era

    Publié 2007
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    Introduction to microfluidics par Tabeling, P.

    Publié 2005
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    Silicon carbide micro electromechanical systems for harsh environments

    Publié 2006
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    Smart mems and sensor systems par Gaura, Elena

    Publié 2006
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    Microdevices in biology and medicine

    Publié 2009
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    Fundamentals and applications of microfluidics par Nguyen, Nam-Trung, 1970-

    Publié 2006
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  13. 13
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    Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

    Publié 2010
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    Lab-on-a-chip techniques, circuits, and biomedical applications / par Ghallab, Yehya H.

    Publié 2010
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    Introduction to microfabrication par Franssila, Sami

    Publié 2010
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    MEMS-based integrated navigation par Aggarwal, Priyanka

    Publié 2010
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    Digital holography for MEMS and microsystem metrology

    Publié 2011
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    Trends in nano- and micro-cavities

    Publié 2011
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    Handbook of wafer bonding

    Publié 2012
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    Cost-driven design of smart microsystems par Niedermayer, Michael, 1971-

    Publié 2012
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