High resolution 3D nanoimprint technology template fabrication, application in Fabry-Perot-filter-based nanospectrometers /

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Autore principale: Wang, Xiaolin
Ente Autore: ProQuest (Firm)
Natura: Tesi Elettronico eBook
Lingua:inglese
Pubblicazione: Kassel [Germany] : Kassel University Press, 2011.
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