High resolution 3D nanoimprint technology template fabrication, application in Fabry-Perot-filter-based nanospectrometers /
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Format: | Abschlussarbeit Elektronisch E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Kassel [Germany] :
Kassel University Press,
2011.
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Click to View |
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