High resolution 3D nanoimprint technology template fabrication, application in Fabry-Perot-filter-based nanospectrometers /
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| 格式: | Thesis 电子 电子书 |
| 语言: | 英语 |
| 出版: |
Kassel [Germany] :
Kassel University Press,
2011.
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| Item Description: | Summary in German. |
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| 实物描述: | iii, 160 p. : ill. (chiefly col.) |
| 参考书目: | Includes bibliographical references. |