High resolution 3D nanoimprint technology template fabrication, application in Fabry-Perot-filter-based nanospectrometers /
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| 主要作者: | |
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| 企業作者: | |
| 格式: | Thesis 電子 電子書 |
| 語言: | 英语 |
| 出版: |
Kassel [Germany] :
Kassel University Press,
2011.
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| 主題: | |
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| Item Description: | Summary in German. |
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| 實物描述: | iii, 160 p. : ill. (chiefly col.) |
| 參考書目: | Includes bibliographical references. |