Maluf, N., & Williams, K. (2004). An introduction to microelectromechanical systems engineering (2nd ed.). Artech House.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Maluf, Nadim, ба Kirt Williams. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering. 2nd ed. Boston: Artech House, 2004.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Maluf, Nadim, ба Kirt Williams. An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering. 2nd ed. Artech House, 2004.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.