Material science and MEMS production : selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China /
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| その他の著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 電子媒体 eBook |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
Zurich, Switzerland :
TTP,
2014.
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| シリーズ: | Advanced materials research ;
Volume 901. |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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