Material science and MEMS production : selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China /
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| Autres auteurs: | |
|---|---|
| Format: | Électronique eBook |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Zurich, Switzerland :
TTP,
2014.
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| Collection: | Advanced materials research ;
Volume 901. |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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