ebrary, Inc, & Baltes, H. (2013). Enabling technologies for MEMS and nanodevices: Advanced micro and nanosystems. Wiley.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)ebrary, Inc, và Henry Baltes. Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems. Weinheim [Germany]: Wiley, 2013.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)ebrary, Inc, và Henry Baltes. Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems. Wiley, 2013.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.