ebrary, Inc, & Baltes, H. (2013). Enabling technologies for MEMS and nanodevices: Advanced micro and nanosystems. Wiley.
Chicago-referens (17:e uppl.)ebrary, Inc, och Henry Baltes. Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems. Weinheim [Germany]: Wiley, 2013.
MLA-referens (9:e uppl.)ebrary, Inc, och Henry Baltes. Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems. Wiley, 2013.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.