ebrary, Inc, & Baltes, H. (2013). Enabling technologies for MEMS and nanodevices: Advanced micro and nanosystems. Wiley.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)ebrary, Inc, ба Henry Baltes. Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems. Weinheim [Germany]: Wiley, 2013.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)ebrary, Inc, ба Henry Baltes. Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems. Wiley, 2013.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.