Reliability of MEMS testing of materials and devices /
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| 其他作者: | , |
| 格式: | 電子 電子書 |
| 語言: | 英语 |
| 出版: |
Weinheim :
Wiley-VCH,
2013.
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| 叢編: | Advanced micro & nanosystems.
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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