Reliability of MEMS testing of materials and devices /
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Weinheim :
Wiley-VCH,
2013.
|
| Schriftenreihe: | Advanced micro & nanosystems.
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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